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Angaben Kompatible Produkte
Teilnummer Dimensionen Dicke Aktiver
Bereich
Breite
des
Quadrats
Fotomasken
Typ
Substrat Klasse Klasse Zertifikat Kompatible
telezentrische
Objektive
(W x H) (Wa x Ha) (Ws) (part number ending in)
(mm x mm) (mm) (mm x mm) (mm) (mm) (mm)
1 1 2
PT004-009 33 x 26 3 15 x 13 0.20 Chrome-on-glass Soda lime glass 1 - No 004, 007, 009
Angebot
PT016-024 33 x 26 3 31 x 24 0.60 Chrome-on-glass Soda lime glass 1 - No 016, 024
Angebot
PT036-056 66 x 52 3 64 x 51 1.35 Chrome-on-glass Soda lime glass 1 - No 036, 048, 056
Angebot
PT064-096 107 x 83 3 105 x 79 2.20 Chrome-on-glass Soda lime glass 1 - No 064, 072, 080, 085, 096
Angebot
PT120-144 180 x 140 3 168 x 132 3.00 Chrome-on-glass Soda lime glass 2 - No 110, 120, 130, 144
Angebot
PT192-240 300 x 240 3 260 x 200 4.00 Chrome-on-glass Soda lime glass - B No 192, 200, 240
Angebot
PT260-310 340 x 280 3 320 x 260 5.00 Chrome-on-glass Soda lime glass - B No 308
Angebot
PT004-009-C 33 x 26 3 15 x 13 0.20 Chrome-on-glass Soda lime glass 2 - Yes 004, 007, 009
Angebot
PT016-024-C 33 x 26 3 31 x 24 0.60 Chrome-on-glass Soda lime glass 2 - Yes 016, 024
Angebot
PT036-056-C 66 x 52 3 64 x 51 1.35 Chrome-on-glass Soda lime glass 2 - Yes 036, 048, 056
Angebot
PT064-096-C 107 x 83 3 105 x 79 2.20 Chrome-on-glass Soda lime glass 2 - Yes 064, 072, 080, 085, 096
Angebot
PT120-144-C 180 x 140 3 168 x 132 3.00 Chrome-on-glass Soda lime glass 2 - Yes 110, 120, 130, 144
Angebot
PT192-240-C 300 x 240 3 260 x 200 4.00 Chrome-on-glass Soda lime glass - B Yes 192, 200, 240
Angebot
PT260-310-C 340 x 280 3 320 x 260 5.00 Chrome-on-glass Soda lime glass - B Yes 308
Angebot
PT064-096-P 107 x 83 3 105 x 79 2.20 Film-on-glass Soda lime glass - 4 No 064, 072, 080, 085, 096
Angebot
PT120-144-P 180 x 140 3 168 x 132 3.00 Film-on-glass Soda lime glass - 4 No 110, 120, 130, 144
Angebot
PT192-240-P 300 x 240 3 260 x 200 4.00 Film-on-glass Soda lime glass - 4 No 192, 200, 240
Angebot
PT260-310-P 340 x 280 3 320 x 260 5.00 Film-on-glass Soda lime glass - 4 No 308
Angebot
PTCP-S1-HR1-C 180 x 140 3 167.4 x 129.6 1.35 Chrome-on-glass Soda lime glass 2 - Yes TCCP12144, TCCP23144, TCCP3MHR144, TCCP5MHR144
Angebot
PTCP-M1-LR1-C 245 x 196 3 237.6 x 184.8 2.20 Chrome-on-glass Soda lime glass - B Yes TCCP12192, TCCP23192
Angebot
PTCP-M1-HR1-C 245 x 196 3 237.6 x 189.0 1.35 Chrome-on-glass Soda lime glass - B Yes TCCP3MHR192, TCCP5MHR192
Angebot
PTCP-L1-LR1-C 300 x 240 3 281.6 x 228.8 2.20 Chrome-on-glass Soda lime glass - B Yes TCCP12260, TCCP23260
Angebot
PTCP-L1-HR1-C 300 x 240 3 286.2 x 226.8 1.35 Chrome-on-glass Soda lime glass - B Yes TCCP3MHR260, TCCP5MHR260
Angebot
PTCP-S1-HR1-P 180 x 140 3 167.4 x 129.6 1.35 Film-on-glass Soda lime glass - 4 No TCCP12144, TCCP23144, TCCP3MHR144, TCCP5MHR144
Angebot
PTCP-M1-LR1-P 245 x 196 3 237.6 x 184.8 2.20 Film-on-glass Soda lime glass - 4 No TCCP12192, TCCP23192
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PTCP-M1-HR1-P 245 x 196 3 237.6 x 189.0 1.35 Film-on-glass Soda lime glass - 4 No TCCP3MHR192, TCCP5MHR192
Angebot
PTCP-L1-LR1-P 300 x 240 3 281.6 x 228.8 2.20 Film-on-glass Soda lime glass - 4 No TCCP12260, TCCP23260
Angebot
PTCP-L1-HR1-P 300 x 240 3 286.2 x 226.8 1.35 Film-on-glass Soda lime glass - 4 No TCCP3MHR260, TCCP5MHR260
Angebot

Letzte Aktualisierung: 28 Sept. 2022

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Hinweise

  1. Die Klassifizierung (2*) für film-on-glass Fotomasken unterscheidet sich überlicherweise von der chrome-on-glass. Die technischen Daten finden Sie in der Tabelle auf der nächsten Seite.
  2. Download CoC Format Pattern facsimile

Technische Dokumente

Product user guide
CoC Format

Die Größenabweichung der Pattern kann wie nachstehend dargestellt berechnet werden:

`Maßtoleranz = ± (A + B * C)`

Beispiel für eine Größenabweichung für ein Klasse-2-Pattern auf einer Länge von 10 mm:

Maßtoleranz = ± 0.0016mm + (±0.000008mm x 10 mm) = ± 0.00168 mm

Für Chrome auf Glas Photomasken
KlassifizierungMin herstellbare dimensionen; Min Abstand(µm)Positionierungsfehler (µm)Geschwindigkeitsfaktor (µm/mm)
11.46.40.016
20.81.60.008
30.40.60.004
40.20.20.001
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For Film Photomask
KlassifizierungMin herstellbare dimensionen; Min Abstand(µm)Positionierungsfehler (µm)Geschwindigkeitsfaktor (µm/mm)
19.69.60.015
24.89.60.015
32.49.60.015
41.29.60.015
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